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本发明公开了一种数字式主动相位锁定、扫描干涉仪及光束干涉方法，涉及光学技术领域。本发明实施例所提供的干涉仪包括：基座和设置于基座上的激光器、第一分束镜、第二分束镜、光电探测器、示波器和数字处理模块；沿第一光路，设有相位调节组件；沿第二光路，依次设有扫描组件和主动锁相组件；第一光路和第二光路的光束经第二分束镜后合并，并发射至光电探测器；示波器和数字处理模块均分别与光电探测器、扫描组件和主动锁相组件均电连接。在本发明通过设置干涉光线的光线路径，尤其是在其中设置相位调节组件和扫描组件，实现了干涉光线的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117367749A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311296755.6
(22)申请日2023.10.08
(71)申请人南京航空航天大学
地址2100
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