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本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域,提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法,热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口;本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区;主动区上开设第一开口,每个被动区上开设第二开口,第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁,第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁,且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接;主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置;本发明结构简单、制备方便,通过一体式结构设计,便于批量化生产,并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110243679A
(43)申请公布日
2019.09.17
(21)申请号20191
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