功率半导体生产工艺问题及分析.docVIP

PAGE

PAGE2

1.引言

1.1选题理由

目前，全球新能源汽车市场正慢慢崛起，节能减排加速清洁能源普及，智慧城市带动智能发电和电网部署进程，叠加电池和能源存储需求加大等因素，加大了对功率半导体器件的需求。而功率半导体作为电子电力设备中电能转换与电路控制的核心，主要用于改变电子装置中电压和频率、直流交流转换（变频、变压、变流和功率管理）等，可以提高能量转换效率，减少功率损失，具有应用范围广、用量大等特点。

功率半导体的适用面非常广泛，与用途相对狭窄高端CPU不同，新能源汽车、智能家居、物联网、智能制造、电网改造、充电桩等应用都需要大功率驱动，因此功率半导体是增量最大的半导体元器件。

中国功率半导体市场被境外企业所垄断，国产化率低。在中高端IGBT器件中，中国90%以上的产品依赖进口。因此中国进口占需求比较高的半导体分立器件等，国产替代空间广阔。本文将介绍功率半导体的制作工艺，基于ASMX（汽车电子工艺）产线，分析其自动化生产工艺及主要问题。

1.2功率半导体简介

功率半导体主要分为功率分立器件和功率IC两大类，其中功率分立器件主要包括二极管、晶闸管、MOSFET、IGBT等产品。根据IHSMarkit的预测，MOSFET和IGBT将成为近5年增长最强劲的半导体功率器件。

IGBT（绝缘栅双极晶体管）：InsulatedGateBipolarTrans