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一种低耦合三轴微机械陀螺仪.pdfVIP

一种低耦合三轴微机械陀螺仪.pdf

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    本发明涉及微机电系统传感器领域，具体涉及一种低耦合三轴微机械陀螺仪，包括：衬底、驱动结构和检测单元，具体的，衬底上设置有锚点结构，检测单元悬空架设在锚点结构上，其中，检测单元包括；四个敏感单元以及两个Z轴敏感单元，两个相对的敏感单元用于检测X轴方向输入的角速度信号，另外两个相对的敏感单元用于检测Y轴方向输入的角速度信号，Z轴敏感单元用于检测Z轴方向输入的角速度信号。本装置实现了对Z轴敏感质量块在Y轴方向的限制，避免了驱动过程中Y轴方向的移动对Z轴信号的干扰，以提高Z轴方向的检测精度。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117367393A

    (43)申请公布日2024.01.09

    (21)申请号202311295175.5

    (22)申请日2023.10.08

    (71)申请人西北工业大学

    地址710072

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