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    本发明公开了一种研磨头，研磨头包括：柔性膜体，所述柔性膜体内具有柔性膜腔；压板，置于所述柔性膜腔内，所述压板包括边缘部，所述压板中开设有导气通道，所述导气通道包括相连通的进气端和出气端，所述进气端连通所述柔性膜腔，所述出气端通向所述柔性膜体的内侧壁和/或内底壁，所述内侧壁和所述内底壁分别对应所述边缘部的侧壁和底壁。这样一来，在开始研磨时，气体可通过导气通道冲向柔性膜体的内侧壁和/或内底壁，使柔性膜体向外横向膨胀，增加对基板施加压力的面积，避免基板的边缘无法被柔性膜体向研磨垫按压而出现较大形变，提

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117359484A

    (43)申请公布日2024.01.09

    (21)申请号202311514645.2

    (22)申请日2023.11.14

    (71)申请人北京晶亦精微科技股份有限公司

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