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本发明公开一种用于分子束外延设备的传样系统及传样方法，系统包括：处理室、环形传输腔、连接组件、环形驱动组件和升降驱动组件；晶圆在处理室内进行工艺处理，多个处理室沿竖直方向均布在环形传输腔上方，连接组件用于连接处理室与环形传输腔；环形驱动组件位于环形传输腔侧部，以实现晶圆沿环形传输腔运动；升降驱动组件位于环形传输腔底部，环形驱动组件与升降驱动组件之间设有隔离屏，升降驱动组件与处理室相对应，以实现晶圆沿竖直方向进出处理室。本发明具有结构紧凑、操作简单、传样精度高、自动化程度高、占地面积小等优点，解决
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117364233A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311434158.5C23C14/56(2006.01)
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