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2024-01-10 发布于四川
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一种光学镜片的加工方法.pdf

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本发明提供一种光学镜片的加工方法，包括以下步骤：步骤一、镜片铣磨、精磨、抛光；步骤二、镜片清洗；采用清洗液重量比三乙醇胺：苯丙三氮唑：电阻为20MΩ的去离子水为2:5:35的混合液；步骤三、镜片镀膜；镜片在2.0‑2.3×10‑5torr的真空度下通氩气的同时进行离子轰击，温度为70‑78℃，离子轰击速率为180‑190a/sec，时间为2‑5min，氩气流量为18‑23sccm，时间2‑5min；经离子轰击后的镜片上依次镀制厚度为2800μm的SiO2层、300μm的ZrO2层、100μm的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117369164A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311287867.5C23C14/26(2006.01)

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