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2024-01-10 发布于四川
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数据处理方法及系统.pdf

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本发明公开了一种数据处理方法，其用于将DesignGauge导出CD‑SEM量测数据与制程工艺和或量测图片建立对应关系，包括：从DesignGauge导出的.csv文件中提取量测点命名及量测点坐标；提取量测点的制程工艺信息重新构建量测值与晶圆对应的分布格式；从.csv文件获取原始量测图片文件名信息，将CD‑SEM量测数据导出的图片文件夹中检索原始量测图片文件名，将检索到的图片按照晶圆图片格式插入到最终的输出文件。本发明还公开了一种数据处理系统。采用本发明的对DesignGauge数据进行处

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111783404A

(43)申请公布日2020.10.16

(21)申请号202010558254.0

(22)申请日2020.06.18

(71)申请人上海华力集成电路制造有限公司

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