微加工检测装置微传动平台原理及分析.pdfVIP

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  • 2024-01-14 发布于江西
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微加工检测装置微传动平台原理及分析.pdf

英文摘要

Abstract

Withthedevelopmentofmicro/nano-technology,moreandmorehigh-precision

micropartsareusedinhigh-precisionequipment.Thedemandformicropartsin

engineeringapplicationsisalsoi

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