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描述用于无匹配式等离子体源的频率调谐。为了执行频率调谐，在无匹配式等离子体源的操作频率变化之后，在无匹配式等离子体源的放大电路的输出处测量电流。在判定电流随操作频率的变化而增加时，将操作频率进一步改变，直到电流减小。当电流已减小，经改变的操作频率进一步修改为操作频率。当无匹配式等离子体源在该操作频率处操作时，在放大电路的输出处的电流最大化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111868875A
(43)申请公布日2020.10.30
(21)申请号201980019065.1(74)专利代理机构上海胜康律师事务所31263
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