碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具.pdfVIP

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2024-01-13 发布于四川
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碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具.pdf

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本发明提供了一种碳化硅晶圆快速热退火用导热衬片及其制备方法和载具，导热衬片用于对碳化硅晶圆进行辅助加热，导热衬片包括：衬片基体(1)，衬片基体(1)的至少一侧的表面上设置有槽结构，槽结构至少包括第一凹槽结构(10)，第一凹槽结构(10)包括多个第一凹槽(100)，多个第一凹槽(100)沿第一方向间隔地设置于衬片基体(1)上，相邻的两个第一凹槽(100)之间形成第一凸起(101)，第一凹槽结构(10)用非透明淀积层及保护层填充覆盖至表面平整。采用本申请的技术方案，解决了现有技术中的导热衬片在热退火

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117393489A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311349100.0

(22)申请日2023.10.17

(71)申请人珠海格力电子元器件有限公司

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