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本公开涉及一种测量装置,包括主架、基脚以及测量件,主架包括多个承载架,基脚的数量至少为两个且分别连接于多个承载架,以使得多个承载架能够通过基脚抵接于待测量表面,多个承载架中的任意相邻两个承载架能够沿第一方向可滑动地连接,且每个承载架上设置至少一个测量件,以在对待测量表面进行测量时,能够根据待测量表面的尺寸将多个承载架沿第一方向滑动,对测量长度进行调节,并根据各测量件对待测量表面进行测量所得的测量值反馈待测量表面的平整度,其中,待测量表面可为研磨盘的盘面,则在对不同尺寸的研磨盘的盘面进行测量时,无
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220331000U
(45)授权公告日2024.01.12
(21)申请号202321982647.X
(22)申请日2023.07.25
(73)专利权人新疆蓝晶新材料
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