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本发明涉及谐振式光学陀螺技术领域，具体是一种基于二阶奇异面的片上高灵敏角速度传感器及测量方法。本发明解决了现有谐振式光学陀螺测量较小角速度时灵敏度过低、鲁棒性较差、体积较大的问题。基于二阶奇异面的片上高灵敏角速度传感器，包括可调谐窄线宽激光器、第一隔离器、相位调制器、第二隔离器、光电探测器、示波器、计算机、片上结构；所述片上结构包括第一直波导、第一环形谐振腔、Y波导、第二环形谐振腔、第一弯曲波导、第二直波导、第二弯曲波导、第三环形谐振腔、第三直波导、第三弯曲波导、第四直波导、第五直波导、衬底。本
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117387591A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311657457.5
(22)申请日2023.12.06
(71)申请人中北大学
地址030051
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