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本申请提供一种环形暗场光纤装置，涉及晶圆检测技术领域。所述环形暗场光纤装置包括环形光罩以及沿所述环形光罩的内壁圆周排布的环形光纤头阵列，所述环形光纤头阵列中的两个环形光纤头之间具有预定光纤头间隔角度，且所述环形光纤头阵列由连接线缆引出，所述环形光纤头阵列中的每个环形光纤头的光纤NA角度小于光纤倾斜角度，且每个环形光纤头的工作距的范围为5mm‑40mm，每个环形光纤头的环形光纤厚度的范围为8mm‑25mm，利用环形暗场光纤能够更快速有效地检测出晶圆的划痕、颗粒和隐裂等，解决了明场照明很难检测出或容
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117388976A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311324129.3G01N21/95(2006.01)
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