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具有增强的扭转刚度的弯曲部和并有其的MEMS装置.pdfVIP

具有增强的扭转刚度的弯曲部和并有其的MEMS装置.pdf

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    一种用于MEMS装置的弯曲部包括细长梁和从所述细长梁的侧壁向外延伸的突起元件。MEMS惯性传感器包括与衬底的表面间隔开的可移动元件、附接到所述衬底的锚定件和弹簧系统。所述弹簧系统包括第一梁和第二梁、所述第一梁与所述第二梁之间的中心弯曲部、在所述第一梁的末端与所述锚定件之间互连的第一末端弯曲部和在所述第二梁的末端与所述可移动元件之间互连的第二末端弯曲部。所述末端弯曲部中的每一个包括：所述细长梁，其具有第一末端和第二末端及限定所述细长梁的纵向尺寸的所述侧壁；和所述突起元件，其从所述细长梁的所述侧壁延

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110426533A

    (43)申请公布日

    2019.11.08

    (21)申请号20191

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