原创力文档大直径硅单晶及抛光片项目规划设计纲要
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大直径硅单晶及抛光片项目规划设计纲要
目录
TOC\h\z20900前言 3
22864一、工艺说明 3
28238(一)、技术管理特点 3
15807(二)、大直径硅单晶及抛光片项目工艺技术设计方案 4
11485(三)、设备选型方案 6
27936二、大直径硅单晶及抛光片项目文档管理 7
20910(一)、文档编制与审查 7
2416(二)、文档发布与分发 8
29079(三)、文档存档与归档 9
3024三、大直径硅单晶及抛光片项目可持续发展 11
588(一)、可
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