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2023年金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案.docx

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    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案

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    金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目计划设计方案

    目录

    TOC\h\z25478前言 3

    32379一、工艺说明 3

    31921(一)、技术管理特点 3

    11777(二)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目工艺技术设计方案 4

    2731(三)、设备选型方案 6

    1426二、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目建设单位说明 7

    31261(一)、金刚石膜-声表面波器件（SAW）项目承办单位基本情况 7

    25833(二)、公司经济效益分析 8

    8872三、金刚石膜-声表面波

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