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本申请公开一种通过接枝制备纳米金刚石稀土空位色心的方法，包括如下步骤：在硅基底表面生长一层金刚石薄膜；对金刚石基底表面去除石墨等非晶杂质和萃取氢终端悬键；在金刚石植晶液中加入强酸制备出羧基金刚石植晶液；羧基金刚石植晶液和稀土水溶液搅拌成金刚石接枝稀土的混合植晶液；在金刚石基底表面植入混合晶种；在植晶完成后的金刚石基底表面与稀土金属靶材共同生长纳米金刚石薄膜；然后对生长完成后的样品进行退火处理；最后对样品进行表面清洗，得到较为纯净的纳米金刚石稀土色心；本发明突破了稀土原子半径大无法进入到金刚石这个
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117403214A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311378771.XC23C16/02(2006.01)
(22)申请日2023.10.
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