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南京信息职业技术学院
毕业设计论文
作者丁春宇学号316KS17
系部微电子学院
专业电子电路设计与工艺
题目LCD玻璃CVD成膜的工艺
指导教师朱宪忠
评阅教师
完成时间：2019年5月1日
毕业设计(论文)中文摘要
(题目)：LCD玻璃CVD成膜的工艺
摘要：LCD玻璃在CVD机台上生产制造成膜过程中,,机台设备的状况和制程气体都是成膜中不容忽视产生的，都能对CVD成膜产生异常，所以对机台及制程气体要有规定本论文首先简单介绍何谓是TFT-LCD,通过简单介绍TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器），从而对CVD成膜工艺流程中容易产生的地点及异常问题作出解决,再介绍Array端Substrate到成品的过程，再重点介绍CVDAKT-15K机台每个部分的工作,通过介绍了解CVDAKT-15K机台动作制程原理,对CVD成膜机台产生异常频率高的问题，如破片/Particle/膜色/对这几个异常问题提出切实可行方案能够达到结合实际要求最终目的减少异常问题的出现。
关键词：成膜破片CVD
毕业设计(论文)外文摘要
(Title):CVDfilmformingprocessofLCDglass
Abstract:LCDglassintheCVDmachinemanufacturingfilmformingprocess,machineequipmentconditionandprocessgasarenotnegligibleinthefilmformingprocess,canproduceabnormalCVDfilmforming,sothemachineandprocessgastohaveprovisions
First,thispaperintroduceswhatistheTFT-LCD,throughthesimpleintroductionofTFT-LCD(thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay),andCVDfilmformingprocesstoproducethelocationandabnormalproblemstosolve,ArrayendtheprocessoftheSubstratetothefinishedproductareintroduced,andemphasisonCVDAKT-15kmachineeachpartofthework,throughtheintroductiontounderstandCVDAKT-15kmachinesprocessprinciple,theCVDfilmformingmachinestoproduceabnormaltheproblemofhighfrequency,Forexample,Particle/Particle/filmcolor/putforwardpracticalsolutionstotheseabnormalproblems,whichcanachievetheultimategoalofreducingtheoccurrenceofabnormalproblemsincombinationwithpracticalrequirements
Keywords:CVDmachineequipment
目录
TOC\o1-3\h\z\u1引言
2TFT-LCD解释
2.1TFT-LCD制造工程
35PEP的工作原理
3.1Arrray端Substrate到成品的过程简述
3.2PECVD原理简述
4AKT-15K概述
4.1CVD真空机台介绍
4.2C
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