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本实用新型公开了一种微孔加工用远心透镜单元，应用于微孔加工装置，所述透镜单元包括依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜，所述第一透镜具有负折射力，所述第二透镜具有正折射力，且所述第二透镜至少有一个非球面，所述第三透镜具有正折射力，激光光源的入射光线依次经过第一透镜、第二透镜、第三透镜形成主光线，所述主光线平行于光轴方向，且主光线在光轴方向上直线传播。本实用新型用于微孔加工装置，通过将来自激光光源的光线聚焦，使得经过透镜单元的主光线在微孔加工时能够以与光轴方向平行的状态进行照射，以便确保微细孔在掩膜
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220357313U
(45)授权公告日2024.01.16
(21)申请号202321771010.6
(22)申请日2023.07.07
(73)专利权人伊欧激光科技（苏州）有限公司
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