光学仪器检具校准规范.docx

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光学仪器检具校准规范

1范围

本规范适用于四棱平尺、刀口直角尺、十字线芯轴、锥体芯轴、标准芯轴、四方体、偏心轴和专用玻璃刻线尺等光学仪器检具(以下简称检具)的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件:

JJG56工具显微镜

JJG57光学、数显分度头

JJG571读数、测量显微镜

JJF1093投影仪校准规范

JJF1094—2002测量仪器特性评定

JJF1109跳动检查仪校准规范

凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3概述

3.1四棱平尺

四棱平尺是一种测量平面度和平行度的计量器具,主要用于测量工件或导轨的直线度和平行度,如工具显微镜、投影仪纵横向滑板移动的直线度以及工作台面与纵横向滑板移动方向的平行度。

四棱平尺一般以其工作长度为型号规格。常见的型号规格为L200mm,其工作长度为200mm,外形尺寸为205mm。工作面包括主工作面、侧工作面、底工作面,结构示意图如图1所示。

图1四棱平尺结构示意图

3.2刀口直角尺

刀口直角尺是一种以刀口形棱边组成标准直角的计量器具,主要用于测量工件或导轨的直线度和垂直度,如工具显微镜、投影仪纵横向滑板移动的垂直度。

刀口直角尺有三角形和矩形两种结构。一般以其工作长度为型号规格,常见的型号

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规格有80mm×50mm、200mm×100mm等,结构示意图如图2所示。

侧面

侧面

(a)矩形刀口直角尺(b)三角形刀口直角尺

图2刀口直角尺结构示意图

3.3十字线芯轴

十字线芯轴是一种十字刻线中心位于两顶尖孔中心连线上且能双面工作的计量器具。主要用于测量工具显微镜的主显微镜光轴、立柱回转轴线与顶尖轴线的相对位置。

十字线芯轴一般以其芯轴长度为型号规格。常见的型号规格为L100mm、

L200mm等,其结构示意图如图3所示。

图3十字线芯轴结构示意图

3.4锥体芯轴

锥体芯轴是一种以两顶尖孔中心连线为基准轴线,具有圆锥工作面和圆柱工作面的计量器具。主要用于测量光学分度头主轴轴线对工作台工作面、侧工作面的平行度等。

锥体芯轴一般以其长度L及圆锥的锥度或锥角为型号规格。其结构示意图如图4

所示。

图4尾椎杆结构示意图

3.5标准芯轴

标准芯轴是一种圆柱工作面中心线与两顶尖孔中心连线重合的计量器具,主要用于

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测量工具显微镜、分度头、跳动检查仪、齿轮测量中心等仪器两顶针轴线与导轨移动方向的平行度。

标准芯轴常见的直径规格有φ20mm,φ30mm,φ40mm等;长度规格有

L200mm、L300mm、L400mm和500mm等,标准芯轴结构示意图如图5所示。

图5标准芯轴结构示意图

3.6四方体

四方体是一种具有四个工作直角的计量器具,主要用于测量工件或导轨的角度和垂直度,如工具显微镜配置的光学分度头的示值误差及读数、测量显微镜纵横向滑板移动的相互垂直度,也常用于调整测角仪器工作台对回转轴的垂直性。

四方体一般以其边长为型号规格。常见的型号规格为70mm×70mm等,结构示

意图如图6所示。

图6四方体结构示意图

3.7偏心轴

偏心轴是一种圆柱工作面轴线(工作轴线)与两顶尖孔中心连线(基准轴线)有一

定偏移的计量器具,主要用于测量跳动检查仪的示值误差。

偏心轴以偏心量e为型号规格,e通常为20μm~30μm,其结构示意图如图7

所示。

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圆柱工作面图7偏心轴结构示意图

圆柱工作面

3.8专用玻璃刻线尺

专用玻璃刻线尺是一种以刻线间距为工作长度的线纹计量器具,刻线面的相对面为

基面,主要是用于测量投影仪放大倍数。

专用玻璃刻线尺通常由采用玻璃材料制成,一般以最大工作长度为型号规格。常见的型号规格有200mm,300mm,400mm,410mm,500mm,600mm等,专用玻璃刻线尺的结构示意图如图8所示。

图8专用玻璃刻线尺示意图

4计量特性

4.1四棱平尺

4.1.1工作面的表面粗糙度

工作面的表面粗糙度要求参照表1。

表1四棱平尺工作面的表面粗糙度和平面度要求

序号

工作面

工作面粗糙度R

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