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JJF1933—2021

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光学轴类测量仪校准规范

1范围

本规范适用于轴径测量上限至150mm、轴长测量上限至1000mm的光学轴类测

量仪的校准。

2引用文件

本规范引用了下列文件：

JJF1094—2002测量仪器特性评定

凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。

3概述

光学轴类测量仪是采用CCD和光栅测量系统进行轴径和轴长测量的仪器。一般包括回转主轴(C轴)和垂直轴(Z轴),主要由机械主体、照明系统、CCD测量系统、控制系统和数据处理系统组成。

图1光学轴类测量仪结构及测量原理示意图

1—回转主轴(C轴);2一下顶尖；3—照明光源；4—上顶尖；5—垂直运动导轨；

6—立柱；7—CCD测量系统；8—测量滑架(含Z轴)0;9—基座

常见光学轴类测量仪结构及测量原理示意图如图1所示。工作时，测量工件夹持在两顶尖之间，CCD测量系统和照明光源通过测量滑架带动，沿Z轴方向移动至测量位置，测量图像通过CCD采集，数据处理系统对CCD采集的图像和光栅移动距离进行处

理，得到测量工件的轴径和轴长。

4计量特性

4.1回转主轴顶尖的斜向圆跳动

回转主轴顶尖的斜向圆跳动要求可参照表1。

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4.2上顶尖轴线与回转主轴的同轴度

上顶尖轴线对回转主轴的同轴度要求可参照表1。

4.3垂直导轨移动与两顶尖连线之间的平行度

垂直导轨移动与两顶尖连线之间的平行度要求可参照表1。

4.4轴径测量的示值误差

轴径测量的最大允许误差要求可参照表1。

4.5轴长测量的示值误差

轴长测量的最大允许误差要求可参照表1。

4.6轴径测量的重复性

轴径测量的重复性要求可参照表1。

4.7轴长测量的重复性

轴长测量的重复性要求可参照表1。

表1光学轴类测量仪计量特性的推荐要求

序号

计量特性

推荐要求

1

回转主轴顶尖的斜向圆跳动

一般不大于2μm

2

上顶尖轴线与回转主轴的同轴度

一般不大于2μm/200mm

3

垂直导轨移动与两顶尖连线之间的平行度

一般不大于4μm/200mm

4

轴径测量的示值误差

最大允许误差:±(3μm+1.0×10-5d)

5

轴长测量的示值误差

最大允许误差:±(6μm+1.5×10-5l)

6

轴径测量的重复性

一般不大于0.5μm

7

轴长测量的重复性

一般不大于1μm

注:校准工作不判断合格与否,上述计量特性要求仅供参考。

5校准条件

5.1环境条件

校准环境的温度和湿度应该满足光学轴类测量仪厂商提供的技术要求,校准用的标准器建议至少恒温4h。

一般实验室温度:(20±2)℃,相对湿度:不大于70%。

校准环境内无影响光学轴类测量仪正常工作的振动、噪声、腐蚀性气体和较强磁场等因素。

5.2校准项目和校准用标准器及其他设备

校准用设备见表2。允许使用满足测量不确定度要求的其他测量标准及设备进行校准。

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表2校准项目和校准用设备

序号

校准项目

设备名称和技术要求

1

回转主轴顶尖的斜向圆跳动

测微计，最大允许误差±1μm

2

上顶尖轴线与回转主轴的同轴度

测微计，最大允许误差±1μm;

标准芯轴，径向圆跳动≤1μm,

母线直线度≤1μm/200mm

3

垂直导轨移动与两顶尖连线之间的平行度

4

轴径测量的示值误差

标准轴径规，扩展不确定度U=0.6μm+2×10~d(k=2)

5

轴长测量的示值误差

标准轴长规，扩展不确定度U=1.2μm+2×10-l(k=2)

6

轴径测量的重复性

标准轴径规，扩展不确定度U=0.6μm+2×10-?d(k=2

7

轴长测量的重复性

标准轴长规，扩展不确定度U=1.2μm+2×10-6l(k=2)

6校准项目和校准方法

校准前首先检查外观和各部分相互作用。确定没有影响计量特性因素后再进行校准。

6.1回转主轴顶尖的斜向圆跳动

将装有测微计的磁性表座固定在被校仪器的基座上(不与回转工作台一起运动),使测头与回转主轴顶尖圆锥面在法线方向接触(如图2所示),转动主轴两周，测微计的最大示值与最小示值之差即为回转主轴顶尖的斜向圆跳动。

图2回转主轴顶尖的斜向圆跳动示意图

1一下顶尖；2—测微计；3—表架

6.2上顶尖轴线与回转主轴的同轴度

上顶尖轴线与回转主轴的同轴度用测微计和标准芯轴进行测量。

当仪