一种抛光盘在线修整装置及方法.pdfVIP

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  • 2024-01-20 发布于四川
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本申请提供了一种抛光盘在线修整装置及方法,其中的抛光盘在线修整装置,用于实施对抛光盘的修整,抛光盘连接在主轴的下端,主轴用于驱动抛光盘升降、平移及旋转。抛光盘在线修整装置包括底座、升降机构、支撑板及修整头,其中:升降机构设置在底座上;支撑板呈水平状态连接在升降机构的顶部,升降机构用于实施对支撑板的高度调节;修整头固定安装在支撑板上,并位于抛光盘的下方。采用本申请提供的抛光盘在线修整装置,无需将抛光盘从主轴上取下,通过抛光盘自身的主轴来带动抛光盘移动及旋转,即可使得抛光盘在线修整装置完成对抛光盘的

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117415731A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202311455127.8

(22)申请日2023.11.03

(71)申请人北京中电科电子装备有限公司

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