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电镀设备中除泡器漏液的检测装置和检测方法.pdfVIP

电镀设备中除泡器漏液的检测装置和检测方法.pdf

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    本发明提供了一种电镀设备中除泡器漏液的检测装置和方法。该检测装置包括除泡器、冷凝管和电导率检测器，其中，所述除泡器包括第一进液口、第一出液口和真空口，镀液从所述第一进液口进入所述除泡器并从所述第一出液口流出，所述除泡器在除泡过程中产生的气体从所述真空口输出，所述真空口与所述冷凝管相连接，所述气体在所述冷凝管中被冷凝为液体，所述电导率检测器用于实时检测所述液体的电导率，并在所述电导率超出预设范围时给出漏液提示。根据本发明的检测装置和方法可以及时有效地发现漏液现象，避免镀液的损失。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117419861A

    (43)申请公布日2024.01.19

    (21)申请号202210812534.9

    (22)申请日2022.07.11

    (71)申请人盛美半导体设备(上海)股份有限公

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