吸附式抓持装置以及柔性平坦的基板的拾取及存放方法.pdfVIP

吸附式抓持装置以及柔性平坦的基板的拾取及存放方法.pdf

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本发明是有关于一种用于拾取柔性平坦基板、特别是柔性薄玻璃板及/或柔性薄纸张的吸附式抓持装置,包括:一基体;至少一个布置在基体上的抽气负压模块,其具有至少一个抽气口,用于特别是藉由文丘里效应而抽吸气体并产生负压,以便将基板吸附至此吸附式抓持装置上;以及,至少一个布置在基体上的排气负压模块,其具有至少一个排气口,用于特别是藉由伯努利效应而排出气体并产生负压,以便将基板吸附至此吸附式抓持装置上。

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117425606A

(43)申请公布日2024.01.19

(21)申请号202280040053.9N·贝克尔

(22)申请日2022.06.20

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