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本发明提供一种量子芯片封装结构,包括基板、量子芯片、第一、第二连接柱与第一金属柱,基板包括第一、第二金属层与第一绝缘层,第一金属层包括第一、第二焊盘与芯片放置槽,第二金属层包括第三、第四焊盘与信号线,量子芯片位于基板上对准芯片放置槽并通过焊线电连接至第一焊盘;第一、第三焊盘通过第一连接柱相连,第二、第四焊盘通过第二连接柱相连,第三、第四焊盘通过信号线相连,多个第一金属柱均垂向贯穿基板并分为多组,每组对应一条信号线并分布于对应信号线的两侧,位于信号线同一侧的多个第一金属柱与信号线之间的距离均相等。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117423685A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311140692.5
(22)申请日2023.09.05
(71)申请人意子科技私人投资
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