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本发明提供一种ICPMS(200),包括:等离子体炬(10),将试样(S)及所述试样的流动相(M)进行离子化;收容室(25),被导入经离子化的试样(S)及流动相(M);第一真空泵(61),用来使收容室(25)成为真空;传感器(60),检测在第一真空泵(61)中流动的消耗电流值(I);以及控制装置(300),在消耗电流值(I)为阈值(Th)以上的情况下,向使用者通知与第一真空泵(61)的润滑油相关的规定信息。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117425825A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202280034305.7(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理有
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