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本发明公开了一种具有均匀喷淋进气系统的太阳能电池扩散设备,包括炉体,所述炉体一侧安装有密封门,所述密封门与炉体之间固定连接有合页,所述密封门上固定连接有把手;所述炉体上设置有进气组件,所述炉体一侧固定连接有排气管,所述排气管上设置有尾气处理组件;本发明通过设置的进气组件,使得气体通过进气管进入后能够进入安装管,进而通过若干个喷淋管喷出,对硅片进行均匀的喷淋,使其能够获得更好的加工效果,保证了加工质量;通过设置的尾气处理组件,使得能够对炉体中心加工的尾气进行处理,尾气通过排气管排出后能够进入安装箱
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117423771A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311147827.0
(22)申请日2023.09.06
(71)申请人浙江艾能聚光伏科
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