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形变矫正装置.pdfVIP

形变矫正装置.pdf

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    本公开提供了一种形变矫正装置，包括：双层铰链结构，上下叠置，每层铰链结构均包括十六路矫正单元，对称的设置在四个方位，用于控制掩模的形变；导流结构，设于双层铰链结构下方，中间区域预留掩模的安装区域，当气流吹向导流结构时，导流结构将气流引向四周。该装置采用双层共三十二路铰链结构实现掩模形变的矫正，增加了矫正单元密度，提高了矫正精度。该装置设计导流结构引导气流分散，气流并不直接作用在铰链上，使气流对掩模版的影响在一定时间内衰减，降低掩模版受气流产生的流致振动。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117420726A

    (43)申请公布日2024.01.19

    (21)申请号202311470184.3

    (22)申请日2023.11.06

    (71)申请人中国科学院光电技术研究所

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