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本发明涉及一种单侧抛光的周期极化铁电晶体薄膜条形波导及其制备方法，包括衬底，衬底的上表面开有凹槽，凹槽将衬底的上表面划分为两个区域；衬底的上表面覆盖有周期极化铁电晶体薄膜，且周期极化铁电晶体薄膜不覆盖凹槽上方；周期极化铁电晶体薄膜与衬底之间设置有低折射率键合层，低折射率键合层的折射率低于周期极化铁电晶体薄膜的折射率；该条形波导的一侧为抛光侧壁，周期极化铁电晶体薄膜的极化方向垂直于抛光侧壁；抛光侧壁与周期极化铁电晶体薄膜的上表面相交于侧壁直边，波导通光方向平行于侧壁直边。该条形波导芯区一侧通过抛光
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117420715A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311166710.7G02F1/355(2006.01)
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