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2023年石英玻璃光掩模基片项目规划设计纲要.docx

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    石英玻璃光掩模基片项目规划设计纲要

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    石英玻璃光掩模基片项目规划设计纲要

    目录

    TOC\h\z15653概论 3

    26284一、石英玻璃光掩模基片项目绩效评估 3

    24118(一)、绩效评估指标 3

    20329(二)、绩效评估方法 4

    6089(三)、绩效评估周期 5

    16494二、石英玻璃光掩模基片项目选址可行性分析 6

    37(一)、石英玻璃光掩模基片项目选址 6

    5946(二)、用地控制指标 6

    1466(三)、节约用地措施 9

    15276(四)、总图布置方案 10

    32625(五)、选址综合评价 11

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