一种半导体设备的基片盘.pdfVIP

下载本文档

0
0
约9.67千字
约 9页
2024-01-24 发布于四川
举报
版权申诉

一种半导体设备的基片盘.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种半导体设备的基片盘，包括基片盘底座和基片台；所述基片盘底座上设有旋钮定位组件，所述旋钮定位组件用于辅助基片台安装定位到基片盘底座上，并能精确旋转调整基片台在基片盘底座上的周向位置；基片台上设有基片定位件，基片定位件用于实现多种规格尺寸的基片装夹到基片台上；基片盘底座上的拉力柱与曝光室的连接装置连接，以实现基片盘底座在曝光室中夹紧。本发明具有结构紧凑、操作简单、兼容性高、定位精度高等优点，解决了现有技术中单个基片在进入曝光室后不能进行快速精准定位而导致基片曝光效率低、质量不稳定的问题

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117438359A

(43)申请公布日2024.01.23

(21)申请号202311395508.1H01L21/67(2006.01)

(22)申请日2023.10.

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

用户编号：5333241143000144

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

一种半导体设备的基片盘.pdfVIP