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提供对环组件进行陈化的技术。一种陈化方法，在具备腔室以及配置于所述腔室内的静电吸盘的等离子体处理装置中执行，所述静电吸盘具有支持基板的中央区域以及包围所述中央区域且支持环组件的环状区域，所述陈化方法包含：在所述静电吸盘的所述环状区域配置所述环组件的工序；在所述静电吸盘的所述中央区域配置所述基板的工序；在所述腔室内生成等离子体的工序；计算所述静电吸盘与所述环组件之间的热阻的工序；以及基于计算的所述热阻，判断是否重复生成所述等离子体的工序以及所述计算的工序的工序。还提供一种等离子体处理装置。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117438273A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202310892186.5
(22)申请日2023.07.20
(30)优先权数据
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