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本发明涉及一种离子束照射装置，使在可动式的射束电流计测器(7)中的驱动机构的设计变得简便，同时可逐回从射束计测部位所释放出的二次电子。本发明的离子束照射装置(IM)具有：射束电流计测器(7)，其可在射束轨道(IB)进出而计测射束电流；以及，第一电极(6)，其配置于即将到达射束电流计测器(7)前的射束输送路径上；第一电极(6)兼具为：抑制电极，其将从射束电流计测器(7)所释放出的二次电子逐回至射束电流计测器侧；及，其它的射束光学构件。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110556281A
(43)申请公布日
2019.12.10
(21)申请号20191
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