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本申请公开了一种红外探测器窗口片金属化镀膜的掩膜方法，涉及光学镀膜技术领域，先通过预设遮掩夹具使得基片上的金属膜镀区被遮掩，但光学膜镀区露出；再对露出的光学膜区镀光学膜，并在镀好的光学膜上加镀隔离膜，之后取出基片进行金属膜镀制，完成金属膜镀制之后再将隔离膜撕除，即可达到金属化膜镀要求，其中隔离膜为防水膜，防水膜为AF材料膜。相比现有光刻掩膜的工艺，工艺简化操作方便，节约生产成本。相比粘胶遮蔽的工艺，可以避免除胶不彻底，除胶过程中对光学膜造成的损伤，可以提高生产良率。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117431505A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311743801.2C23C14/18(2006.01)
(22)申请日2023.12.
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