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一种双层螺旋结构湿距敏感元件及其制备方法.pdfVIP

一种双层螺旋结构湿距敏感元件及其制备方法.pdf

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    本发明公开一种双层螺旋结构湿距敏感元件，包括衬底层，敏感层和引线层；敏感层由表层SnO2螺旋敏感层和底层Sn螺旋敏感层组成双层螺旋结构；且表层SnO2螺旋敏感层与底层Sn螺旋敏感层有完全相同的平面结构，底层Sn螺旋敏感层位于表层SnO2螺旋敏感层和衬底层之间。其底层Sn螺旋敏感层的存在不仅增加了表层SnO2螺旋敏感层水分子反应位点提升湿度检测性能，而且降低阻值增强涡流效应提升距离检测性能。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117433580A

    (43)申请公布日2024.01.23

    (21)申请号202311378808.9

    (22)申请日2023.10.23

    (71)申请人中南大学

    地址410

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