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- 2024-01-24 发布于四川
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本申请提供一种贴膜装置及贴膜方法。贴膜装置包括腔室、加热组、气控组及温控组。腔室用于收容膜料及工件。加热组用于加热腔室内的膜料至预设温度。气控组控制腔室内的气压,使膜料背离工件一侧的气压大于膜料靠近工件一侧的气压,直至膜料在压强差作用下贴合工件的表面。温控组控制进入腔室内的气体的温度至预设温度。贴膜方法包括:将膜料及工件放入腔室;气控组控制膜料的两侧呈真空状态;加热组加热膜料至预设温度;温控组将气体加热至预设温度;气控组将气体供入腔室内膜料背离工件的一侧,直至膜料在压强差的作用下贴合工件。贴膜装
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117429940A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202210820346.0
(22)申请日2022.07.13
(71)申请人业成科技(成都)有限公司
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