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本发明涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种自适应调节进气转接结构，包括：开设在腔体门上的台阶孔；配合设置在台阶孔内的进气动模块，进气动模块上具有大圆孔和小圆孔；固定在腔体门上用于封闭台阶孔的压板，压板上设有板孔、与布气机构相连的气体管路，气体管路通过板孔与台阶孔相通；被压板压制在进气动模块上的弹簧；设于腔体本体上可与小圆孔连通的进气口；密封压板与腔体门的第一密封圈；密封进气动模块与腔体门的第二密封圈；在腔体门关闭后、密封进气动模块与腔体本体的第三密封圈。通过上述方式，本发明能够使多处密封不冲突，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN109825818A
(43)申请公布日
2019.05.31
(21)申请号20191
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