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本发明属于光伏电池制造技术领域，尤其涉及一种硼扩散装置及其使用方法。本发明包括：封闭框架，用于封闭所述工作台；进气管，安装在所述封闭框架上，且所述进气管的内端与所述封闭框架内部呈气体连通状态；导气板，设置在所述进气管上，且用于将所述进气管流出的气体向侧向引导；筛板，设置在所述进气管的内端上；所述筛板上设有若干分散孔，所述分散孔倾斜设置，且倾斜方向与所述导气板的气体引导方向一致。通过封闭框架将工作台的四周封闭，在封闭框架多点安装与风机连接的进气管，并且在进气管的内端设置导风组件，使吹向工作台的风尽
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117431637A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311753075.2H01L21/223(2006.01)
(22)申请日2023.12
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