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本发明公开了一种半导体精密件清洗液回收装置及回收方法，包括预处理组件，所述预处理组件包括过滤器、第一进水管、第一增压泵、第二进水管、水箱、支撑腿、微滤膜、精密过滤膜和超滤滤芯；所述过滤器的顶端连通有第一进水管，所述第一进水管上安装有第一增压泵。本发明通过微滤膜、精密过滤膜和超滤滤芯进行逐级过滤，将半导体精密件清洗液中的微粒和脱脂剂去除，通过反渗透设备将溶解于清洗液中的各种离子过滤，并将过滤后的淡水回收至漂洗水槽，浓水则通过纳滤设备进一步浓缩，浓缩后送至蒸发器蒸发水分，得到固体废料，方便统一处理，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117430271A
(43)申请公布日2024.01.23
(21)申请号202311401534.0
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人航菱微（泰州）科技有限公司
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