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2024-01-24 发布于四川
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OPC修正通孔的选择方法.pdf

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本发明提供了一种OPC修正通孔的选择方法，包括：选取尺寸满足设计规则的通孔，作为第一类通孔，通孔为正方形，通孔具有第一边、第二边、第三边和第四边；从第一类通孔中选出第一边与第一边相邻的正对孔的距离为第一预设值的通孔作为第二类通孔；从第二类通孔中选出第二边与第二边相邻的投影孔的距离为第二预设值且第三边与第三边相邻的投影孔的距离为第二预设值的通孔作为第三类通孔；将第三类通孔的第四边两端延长，以形成第五边，将第五边作为一个边以形成一个矩形框，矩形框与第三类通孔相邻并且接触；矩形框中与第五边相邻的边接触

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN111965934A

(43)申请公布日2020.11.20

(21)申请号202010576117.X

(22)申请日2020.06.22

(71)申请人上海华力微电子有限公司

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