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SOI光波导器件研究进展及应用.pdfVIP

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  • 2024-01-27 发布于湖北
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SOI光波导器件研究进展及应用.pdf

    SOI光波导器件前沿研究

    光电信息学院

    赵正松

    2011059050025

    摘要：SOI(Silicon-on-insulator,绝缘衬底上的硅)是一种折射率差大、波导传输损

    耗小的新型材料,SOI基

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