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一种自适应晶圆传输方法、可存储介质和晶圆传输设备.pdfVIP

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  • 2024-01-24 发布于四川
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一种自适应晶圆传输方法、可存储介质和晶圆传输设备.pdf

    本发明公开了一种自适应晶圆传输方法、可存储介质和晶圆传输设备，其中方法包括对机械手进行示教，确定机械手传输晶圆装载盒内每层晶槽的晶圆时的理论示教位置。确定晶圆装载盒内的晶圆在竖直方向上向下偏移最大值和向上偏移最大值,并根据向下偏移最大值和向上偏移最大值计算最小距离。获取晶圆装载盒内所有晶圆的放置状态以及每个晶圆向下实际偏移高度和向上实际偏移高度和相邻两片晶圆之间的实际距离。将每个实际距离与最小距离和相邻晶槽的间距比较，判断机械手是否需要补偿。当机械手需要补偿时，根据实际距离所在的区间并结合晶圆的

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117438356A

    (43)申请公布日2024.01.23

    (21)申请号202311763143.3

    (22)申请日2023.12.21

    (71)申请人浙江果纳半导体技

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