原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种三维动态位移测量系统、测量方法及测量设备，系统包括半导体激光器、两个分光棱镜、两个平面反射镜、反射式二维正交光栅、数据采集卡和计算机，半导体激光器发出的光经两个分光棱镜和两个平面反射镜后分为三束，三束光以不同的利特罗角入射至反射式二维正交光栅上；三束入射光对应的自准直衍射光分别沿原光路反馈回半导体激光器内，与激光器内的光发生干涉后转化为电信号，经数据采集卡输入计算机处理，得到待测目标的动态三维位移。本发明无需添加额外的光学调制器件，半导体激光器同时作为光源和探测器，实现了高精度的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117450932A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311417404.6
(22)申请日2023.10.30
(71)申请人南京师范大学
文档评论（0）