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本申请提供一种射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法，涉及射频技术领域，射频电路包括射频电源、射频输出端、匹配网络以及补偿网络，射频电源用于输出射频电流，射频输出端用于连接负载，匹配网络位于射频电源的射频电流的输出路径中，至少对射频电源的内部电抗进行电抗匹配，补偿网络可选择地连接于射频输出端的两端，用于在射频输出端连接的负载的电抗发生变化时，连接于射频输出端的两端，以对负载的电抗变化值进行补偿，并与匹配网络配合实现对射频电源的内部电抗进行电抗匹配。本申请可满足射频电路在动态变化时的电抗匹配需求。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117459011A
(43)申请公布日2024.01.26
(21)申请号202311774048.3
(22)申请日2023.12.22
(71)申请人深圳市瀚强科技股份有限公司
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