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一种提高铂膜与基底材料结合力的方法.pdfVIP

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  • 2024-01-27 发布于四川
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一种提高铂膜与基底材料结合力的方法.pdf

    本发明公开了一种提高铂膜与基底材料结合力的方法，包括：在玻璃柱基底的端面上沉积10～100nm的铂膜；将镀膜后的玻璃柱基底依次放置在高温炉的多个基柱卡架上，对镀膜后的玻璃柱基底加热到软化温度并保温，基柱卡架通过多轴自转运动方式滚压玻璃柱基底的侧曲面，以维持镀膜后的玻璃柱基底的柱形状态；自然冷却玻璃柱基底完成烧结操作，使得铂膜与玻璃柱基底的端面牢固结合；本发明保证铂膜的厚度均一且不会发生铂膜沉积不同而发生断裂的问题，提高了铂膜和玻璃的结合度，也提高了铂膜的稳定性和使用寿命。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN115216734A

    (43)申请公布日2022.10.21

    (21)申请号202210958461.4

    (22)申请日2022.08.09

    (71)申请人中国科学院力学研究所

    地址100

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