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一种逆导型绝缘栅双极型晶体管及其制备方法.pdfVIP

一种逆导型绝缘栅双极型晶体管及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种逆导型绝缘栅双极型晶体管及其制备方法。该方法包括提供一临时衬底；在临时衬底上形成预定厚度的第一外延层，第一外延层与临时衬底接触的面作为外延层的背面；在预定厚度的第一外延层上形成对准标志；在第一外延层上形成第二外延层，第二外延层覆盖第一外延层和对准标志；利用对准标志，在外延层的背面进行图形对准，在外延层的背面形成集电区。上述方法省去了在晶圆正面设置光学玻璃板的过程，由此减少了整体制造成本。入射光自外延层的背面入射，进行背面工艺中掩膜板的对准，对准精确度高。并且无需对曝光工具等设备进行

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN111952364A

    (43)申请公布日

    2020.11.17

    (21)申请号20191

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