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本发明公开了一种基于时滞反馈的微谐振器控制系统，目的在于提高微谐振器稳定性，包括稳压模块、放大电路模块、时滞反馈模块和信号调理模块。稳压模块，用于保证系统输入电压的稳定性，避免微谐振器因驱动电压因外界干扰产生波动，导致微结构发生意外吸合；放大电路模块，用于放大输出信号以及过滤低频噪声的干扰；时滞反馈模块，用于对输出信号进行延时和适当的放大从而实现对微谐振器镇定驱动电压的不稳定振荡；信号调理模块，用于在采集和发射信号的过程中实现数字信号与电信号的相互转换。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN112003584A
(43)申请公布日2020.11.27
(21)申请号202010885984.1
(22)申请日2020.08.28
(71)申请人上海应用技术大学
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