磷扩散-PPT完整版.pptVIP

磷扩散;PN结——太阳电池的心脏;PN结的制造;扩散装置示意图;PN结的形成过程;影响扩散的因素;影响扩散的因素;太阳电池磷扩散方法;大家学习辛苦了，还是要坚持;POCl3简介;POCl3磷扩散原理;由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧（O2）参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出氯气（Cl2）其反应式如下：

生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气。;在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为：

POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中进行扩散。;POCl3液态源扩散方法具有生产效率较高，得到PN结均匀、平整和扩散层表面良好等优点，这对于制作具有大面积结的太阳电池是非常重要的。;磷扩散工艺过程;清洗;饱和;装片;送片;回温;扩散;关源，退舟;卸片;扩散层薄层电阻及其测量;方块电阻的定义;扩散层薄层电阻的测试;磷扩散注意事项（一）——工艺卫生;磷扩散注意事项（二）——安全操作