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基于SOI平面波导的表面等离子共振传感器的研究的开题报告

一、选题背景和意义

表面等离子共振传感器（SurfacePlasmonResonanceSensor，SPR）是一种基于光学原理的高灵敏、实时检测技术，其应用广泛，包括生物、环境、化学等领域，如生物分子相互作用的研究、药物筛选、食品安全检测、水质监测等。SPR技术以其高灵敏度、快速响应、非标记等优点，已成为现代化学、生物学及医学领域中的一种重要分析工具。

在SPR传感器中，波导层与金属膜之间存在一个被称为表面等离子波（SurfacePlasmonWave，SPW）的电磁波，此电磁波在表面和介质的相互作用下会产生共振现象，达到最佳共振时，SPW的能量使得输送在金属/介质界面上的电场达到最大值。当被检测样品中存在与金属表面吸附的分子时，这些分子的引起的质量变化、折射率变化等导致SPW频率发生变化，进而可以通过检测SPR信号来分析样品中的物质。

SPR传感器的性能主要受制于所采用的波导层和金属膜的材料特性及其结构。传统的SPR结构采用银薄膜作为金属层，而最近几年，基于SOI平面波导的SPR传感器受到广泛关注。在SOI平面波导中，SPW位于波导/金属膜之间，与银薄膜SPW相比，SOI平面波导的SPW具有更高的耦合效率、更小的阻抗匹配损失、更稳定的性质等优点。

因此，本研究将基于SOI平面波导的表面等离子共振传感器展开研究，旨在通过波导层和金属层的特性调控，优化SPR的传感性能，实现对生物、环境、化学等样品的高灵敏度、快速响应、可靠检测。

二、研究内容

1.SOI平面波导的设计与制备

(1)波导层的设计优化，利用仿真软件优化波导层结构，实现最佳的SPW谐振条件。

(2)SOI平面波导和金属层的制备，采用MEMS工艺和光刻技术制备SOI平面波导和金属层。

2.表面等离子共振传感器性能的测试与优化

(1)测量SPR信号，研究SPR信号与样品折射率、质量等参数的关系。

(2)优化波导层和金属层厚度、折射率等参数，提高SPR传感器的灵敏度和分辨率。

3.生物、环境、化学等样品的实时检测与分析

(1)构建SPR传感器检测平台，对生物、环境、化学等样品进行实时检测。

(2)分析样品中存在的分子的种类、浓度、反应动力学等参数。

三、研究意义和创新点

SPR传感器技术以其高灵敏度、高分辨率、实时性等特点，已被广泛应用于生物、环境、化学等领域，具有很高的研究和现实应用价值。本研究基于SOI平面波导的表面等离子共振传感器的设计、制备和优化，将有效提高SPR传感器的性能和可靠性，更好地实现对生物、环境、化学等样品的高灵敏度、快速响应、可靠检测，可为相关领域的研究提供重要的实验工具和理论依据。其创新点包括：

(1)采用SOI平面波导作为波导层，与传统银薄膜SPR传感器相比，具有更高的耦合效率和稳定性。

(2)通过优化波导层和金属层的结构参数，实现优化SPR传感器的性能。

(3)实现对生物、环境、化学等样品的高灵敏度、快速响应、可靠检测。